Yarı iletken endüstrisi için –20 ila 90 °C arası termoelektrik proses termostatları

Karmaşık prosesler için hızlı ve hassas sıcaklık kontrolü. Peltier elemanları için kullanılan denenmiş ve test edilmiş ısı transferi prensiplerine dayanan LAUDA Semistat sıcaklık kontrolü termoelektrik sistemleri, plazma aşındırma uygulamaları için tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü sunar.

Elektrostatik levha aynasının (ESC) dinamik sıcaklık kontrolü, cihazların her türlü aşındırma işleminde kullanılmasını mümkün kılar.

Enerji açısından verimli ve yerden tasarruf sağlayan, sabit sıcaklık kontrolüne sahip bu akıllı sistemler, daha küçük bileşenlerin üretimi için mükemmeldir.

Genel Bakış

Avantajlar

Düşük enerji tüketimine sahip kompresör ve soğutucu akışkan içermeyen sistem

Sektördeki en küçük ayak izi, zemin altı kurulum için idealdir

Son derece düşük hacimli ısı transfer sıvısı

Çalışma aralığı

Kullanım noktası (POU) sıcaklık kontrol sistemleri, kompresör bazlı sistemlere kıyasla enerji tüketimini %90'a kadar azaltabilir. Kullanım noktasında zemin altı kurulum seçeneği ile minimum alan gereksinimi, temiz oda kullanımını en aza indirir. Proses sıcaklık profillerinin ±0,1 °C'ye kadar hızlı ve hassas sıcaklık kontrolü, levhadan levhaya homojenliği artırır.